1）真空退火炉其主要特点是真空要求高（10¯²-10Pa）,炉子的升降应能自动控制，最好为微机系统。若有快冷装置，则可提高生产率。工艺与非真空炉退火基本相同：

2）真空淬火炉气淬炉比油淬炉好。油淬时工件表面会出现白亮层（其组织为大量残留余奥氏体），，不能用温度为560ºC左右的一般回火加以消除，需要更高温度即700ºC—800ºC才能消除).气淬的表面质量好，变形小，不需清洗，炉子结构也较简单。一般处理高合金模具钢和高速钢模具工件选用高压气淬炉或气淬炉较为理想。如采用压力为0.5-0.6MPa的高压气淬时，ø80-ø110mm的工件能淬硬。

3）真空回火炉是不可缺少的，有些单位无配套的真空回火炉而用普通炉回火，往往会出现表面质量差，硬度不均匀，回火不足等缺陷。若处理有回火脆性的钢种，一定要快冷，采用钢种温度在700ºC以下可进行对流加热的高压气淬炉最为理想。