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太阳能扩散炉[供应 ]

基本信息	联系方式
发布时间：2016/5/14 有效期至：六个月公　　司：青岛育豪微电子设备有限公司网　　址： http://www.qdyuhao888.com 联系人：朱总浏览次数：337	地　　址：青岛市城阳区流亭工业园协荣路3号邮　　编：266000 联系电话：传　　真：空企业邮箱： qdyuhao_chen@aliyun.com

详细说明 （联络时请说明是在 中国窑炉信息网 上看到此信息，以获得更好效果）

◆工作温度： 300~1200℃◆有效口径根据用户扩散片确定,网站:http://www.qdyuhao888.com,可订制◆恒温区长度： 920mm-1350mm（可根据用户要求定制）◆温区精度 (静态闭管测试)： 600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃◆单点温度稳定性(静态闭管测试)： 600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃/24h 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h◆温度斜变能力：最大可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min 最大降温速度(1300～900℃)： 5℃/min ◆气体流量设定精度： ±0.5％FS◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s◆自动送料装置行程： ~2000mm 速度： 5~1000mm/min,SiC浆承重 20kg◆装片数量 400片/管◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz；◆冷却水： 2～4Kgf/cm2,～8L/min太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式◆闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,偏磷酸、CL2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内,工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内.闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺质量完全受保护.◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程.主控温控模块采用国外进口,可在达到±0.25℃的控制精度.◆送取片方式：悬臂式推拉舟.采用侧面布局的悬臂推拉结构,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉机构受腐蚀,影响推拉机构的精确性.

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