|
RTP快速退火炉 石墨烯制备专用管式炉 |
产品编号： |
NBD-T1100X-RTP-172079 |
产品价格： |
价优
|
产品商标： |
诺巴迪 |
产品规格： |
NBD-T1100X-RTP |
生产产地： |
河南郑州 |
发布时间： |
2014/5/9 15:24:15 |
|
|
 详细信息 （与客户联系时，请告知是在 中国窑炉信息网 上看到此信息） |
| NBD T系列高温快速热处理退火炉简称RTP。
该产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理；
目前已被各种试样实验多次验证，并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域；
该系统主要用于：
1.可满足离子注入后的快速退火；
2.也可用于欧姆接触快速合金；
3.还可用于硅化物合金退火，氧化物生长；
4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。
该设备是国家专利保护产品，专利号：CN201310005931.6
|
|
|
|
