气体回收装置是对氢气、氩气和氦气进行回收再利用。采用该系列装置是一项降低生产成本，节约能源，提高经济效益的有力措施。 　　氢气回收装置主要用于钨钼行业还原工序排出的废氢，收集废氢后进入预处理系统，经增压后由冷却器冷却，汽水他离器分离水份，然后进入纯化装置主体部分，对氢气进行精制处理，经处理后的氢气中含氧量≤5ppm，H2O≤10ppm,N2≤900ppm。氢气回收装置分为中压回收和常压回，中压回收氢气的增压由压缩机进行，而常压回收则由罗茨风机来完成。 　　氩气回收纯化装置是对区熔单晶硅炉排出的氩气进行回收处理，通过膜片压缩机稳压器进入氩气纯化装置主体部分进行纯化处理，使氩气纯度达到99.999%以上，该纯化装置参见气体纯化装置内容。 　　氦气回收装置一般按照用户要求，以非标准型号提供，其纯度为99.999%以上。