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| 相关参数:
单位 CVD（D）-04/40/2 CVD（D）-06/60/3 CVD（D）-07/80/3
加热区尺寸
mm（内径） ф40×400 ф60×600 ф70×800
炉管尺寸 mm（内径） ф40×1200 ф60×1500 ф70×1800
工作温度 ℃ RT～1050℃（最高炉温1100℃）
控制精度 ℃ ±1
真空度 Pa 6.67×10-1（机械泵）
可通入气体 甲烷、乙炔、氢气、氮气等气体
控温点数 个 2 3 3
报警保护 超温、欠温、断偶、等报警保护
升温功率 KW 3 6 7.5
重量 Kg ＜150 ＜200 ＜250
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