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气体回收纯化装置
产品描述:气体回收装置是对氢气、氩气和氦气进行回收再利用。采用该系列装置是一项降低生产成本,节约能源,提高经济效益的有力措施。
氢气回收装置主要用于钨钼行业还原工序排出的废氢,收集废氢后进入预处理系统,经增压后由冷却器冷却,汽水他离器分离水份,然后进入纯化装置主体部分,对氢气进行精制处理,经处理后的氢气中含氧量≤5ppm,H2O≤10ppm,N2≤900ppm。氢气回收装置分为中压回收和常压回,中压回收氢气的增压由压缩机进行,而常压回收则由罗茨风机来完成。
氩气回收纯化装置是对区熔单晶硅炉排出的氩气进行回收处理,通过膜片压缩机稳压器进入氩气纯化装置主体部分进行纯化处理,使氩气纯度达到99.999%以上,该纯化装置参见气体纯化装置内容。
氦气回收装置一般按照用户要求,以非标准型号提供,其纯度为99.999%以上。
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